晶圆加热盘
适用不同尺寸的晶圆测试，可用于各类探针台，温控同时进行电学测试。
温度范围 -120℃～400℃
温度稳定性 ±0.05℃
温度均匀性 ±2%
样品区 2寸～12寸
台面平整度 25um
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
适配仪器 手动探针台 半自动探针台 激光退火
适用领域 半导体 芯片 OLED光学变温 晶圆测试
冷热平板
适用不同尺寸的样品测试，可用于各类大尺寸样品，温控同时进行光学电学测试。
温度范围 -120℃～400℃
温度稳定性 ±0.05℃
温度均匀性 ±2%
气氛保护、真空
样品区 2寸～12寸
台面平整度 25um
台面电位 电接地 三同轴 背电极 可选
适配仪器 显微镜、光谱仪、手动探针台 半自动探针台 激光退火
适用领域 材料、化工、半导体 芯片 OLED光学变温 晶圆测试
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